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工商時報【陳逸格】

勤友光電與IBM攜手協力開發的雷射剝離設備,本週二榮獲「第十八屆傑出光電產品獎」,在半導體製程的高密度封裝上明顯躍進,因此更受到業界矚目。

勤友表示,隨著半導體技術發展也日新月異,為了滿足MEMS、IBGT等高效的晶片要求,2.5D/3D IC、FOWLP、InFO等薄型IC生產方法應運而生。而不論是要進行薄型晶圓級封裝(WLP)或是消除載板(Substrate Less)堆疊薄型晶圓,薄型/軟性元件的移載與良率都是首要課題。

本次得獎的該套設備一舉衝破近年在移載與良率上的瓶頸,顯著降低現有設備的耗材成本,不僅在半導體的高密度封裝上有所躍進,同時,與IBM攜手技術合作開發,也突破目前半導體製程上與供應鏈的限制。

整體設計上,該雷射剝離設備由勤友系統整合各部件,主要設計關鍵是對於雷射特性的掌握,以及與高分子解離層的搭配性。其他機構、雷射光路設計、人機出國旅遊英文會話介面程式設計等也均為勤友自有技術。

成立剛好滿兩年的勤友光電,第一年以100%自行研發的捲對捲鍍膜設備(Roll to Roll)獲得國家傑出光電產品獎,隨後,不僅被世界OLED照明材料大廠相中,也陸續出貨給石墨烯及知名薄膜觸控屏廠商,出貨量將逐季放大。

基礎英文會話而本屆得獎的「高速低溫固態雷射剝離設備」今年4月就出貨給技術母廠IBM,已順利上線使用,在許多國際客戶到廠觀摩皆持正面肯定下,衍生性需求十分可期,包括日本與台灣長期協力夥出國常用英文單字伴都將陸續引進。

展望未來,勤友表示,將持續拓展雷射剝離製程於光電等應用領域。


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